XRF熒光光譜儀器是一種無(wú)損的，應(yīng)用廣泛的光譜分析儀器，臺(tái)式XRF熒光光譜儀器可分為波長(zhǎng)色散和能量色散兩種基本類型。波長(zhǎng)色散XRF熒光光譜儀器又有順序型（單道)、同時(shí)型（多道）和復(fù)合型（單道、多道）之分。

       自1987年以來，國(guó)內(nèi)相繼發(fā)表了幾篇有關(guān)X射線熒光光譜儀的綜述，可就目前常用商品X射線熒光光譜儀的進(jìn)展、性能及發(fā)展趨勢(shì)作一簡(jiǎn)要評(píng)述。

       近年來，國(guó)外廠家紛紛推出新型X射線熒光光譜儀，這些儀器在性能和軟件方面有許多實(shí)質(zhì)性的進(jìn)展，其特點(diǎn)是體積小型化，操作自動(dòng)化和智能化，分析結(jié)果準(zhǔn)確度提高，測(cè)定元素范圍更廣等。X射線熒光光譜儀整體性能的提高取決于各部件性能的改進(jìn)。下面簡(jiǎn)要介紹近年來商品儀器中一些主要部件的改進(jìn)。

XRF熒光光譜儀器的進(jìn)展及發(fā)展趨勢(shì)

XRF熒光光譜儀器發(fā)展趨勢(shì)

1.一機(jī)多用

       為了提高工作效率，節(jié)省時(shí)間，降低分析成本，新一代XRF熒光光譜儀器正朝著一機(jī)多用方向發(fā)展。如XRF1700，不但可作常規(guī)大面積樣品分析，還可在直徑1mm或3mm的微區(qū)進(jìn)行高靈敏度分析。許多大型X熒光光譜儀帶有測(cè)定薄膜厚度的軟件，可以同時(shí)測(cè)量薄膜厚度及分析薄膜成分。

2.小型化、專用化

       由于現(xiàn)場(chǎng)分析和專用分析的需要，許多廠家推出了小型便攜式X射線熒光光譜儀。

3，多功能樣品室

       在刑偵、海關(guān)、商檢、地質(zhì)和新材料等領(lǐng)域會(huì)遇到不同形狀和大小的樣品，而且在分析檢測(cè)時(shí)不允許破壞樣品，這就需要多功能樣品室。如創(chuàng)想公司生產(chǎn)的EDX-6000熒光光譜儀，其樣品室可測(cè)不同形狀的樣品，大如礦石，小如頭發(fā)絲等。

4。高度自動(dòng)化

       新一代的X熒光光譜儀普遍采用大規(guī)模集成電路和計(jì)算機(jī)，在豐富的應(yīng)用軟件支持下，諧儀操作、參數(shù)選擇和數(shù)據(jù)處理均通過微機(jī)和計(jì)算機(jī)進(jìn)行;在編好程序的基礎(chǔ)上，能在無(wú)人操作的情況下自動(dòng)對(duì)試樣進(jìn)行分析，因而可以用于在線、現(xiàn)場(chǎng)和流程分析。

       XRF熒光光譜儀器隨著分光、探測(cè)系統(tǒng)及X光管等的不斷改善和電子計(jì)算機(jī)的應(yīng)用，而得到迅速的推廣和發(fā)展?？梢灶A(yù)料，對(duì)新技術(shù)、新方法的探索，還會(huì)不斷促進(jìn)XRF熒光光譜儀器的更新發(fā)展。