1859年Kirchhoof研究太陽光譜時(shí)就開始了原子熒光理論的研究。 1902年Wood等首先觀測(cè)到了鈉的原子熒光。

       1912年WOOD年用汞弧燈輻照汞蒸氣觀測(cè)汞的原子熒光。Nichols和Howes用火焰原子化器測(cè)到了鈉、鋰、鍶、鋇和鈣的微弱原子熒光信號(hào)，Terenin研究了鎘、鉈、鉛、鉍、砷的原子熒光。

       1934年Mitchll和Zemansky對(duì)早期原子熒光研究進(jìn)行了概括性總結(jié)。1962年在阿克瑪?shù)?span>(Alkemade)介紹了原子熒光量子效率的測(cè)量方法1964年威博尼爾明確提出火焰原子熒光光譜法可以作為一種化學(xué)分析方法，并且導(dǎo)出了原子熒光的基本方程式，進(jìn)行了汞、鋅和鎘的原子熒光分析。

       1971年Larkins用空心陰極燈作光源，火焰原子化器，采用瀘光片分光，光電倍增管檢測(cè)。

       1976年Technicon公司推出了世界上第一臺(tái)原子熒光光譜儀AFS-6。（該儀器采用空心陰極燈作光源，同時(shí)測(cè)定6個(gè)元素，短脈沖供電，計(jì)算機(jī)作控制和數(shù)據(jù)處理。由于儀器造價(jià)高，燈壽命短，且多數(shù)被測(cè)元素的靈敏度不如AAS和ICP-AES，該儀器未能成批投產(chǎn)，被稱之為短命的AFS-6。）

X熒光光譜儀國(guó)外發(fā)展趨勢(shì)

       20世紀(jì)80年代初，美國(guó)Baird公司推出了AFS-2000型ICP-AFS儀器。該儀器采用脈沖空心陰極燈作光源，電感耦合等離子體(ICP)作原子化器，光電倍增管檢測(cè)，12道同時(shí)測(cè)量，計(jì)算機(jī)控制和數(shù)據(jù)處理。該產(chǎn)品由于沒有突出的特點(diǎn)，多道同時(shí)測(cè)定的折衷條件根本無法滿足，性能/價(jià)格比差，在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中遭到無情的淘汰。

       20世紀(jì)90年代，英國(guó)PSA公司開始生產(chǎn)HG-AFS。

       21世紀(jì)初加拿大AURORA開始生產(chǎn)HG-AFS。